SF6氣體抽真空回收裝置/*，系統包括抽真空及回充系統、凈化系統、壓縮系統、冷凝系統，可應用于各供電公司、送變電工程公司、發電廠、超高壓輸變電站、SF6電器開關制造廠等部門，作為GCBP、GCBT、GIS等SF6電器產品在安裝、調式、檢修時使用的輔助設備。

組成部件及其優點：

（1）SF6氣體抽真空回收裝置/*設計*，功能齊全，結構合理，自動控制。
（2）壓縮系統：采用SF6無油封閉高壓壓縮機，無泄漏。
（3）抽真空系統采用雙級旋片式真空泵，在系統中設有自動防止返回油裝置。
（4）過濾器采用電加熱及內裝高效吸附劑，提純凈化效果更顯著，能高效去除空氣CF4等 (無需頻繁更換吸附劑)。
（5）裝置電氣系統三相電源自動確認、斷相自動保護。
（6）裝置控制系統采用新技術的SF6閥門
（7）貯存系統按用戶要求配置250KG貯液罐。
（8）設備采用移動式。

用途：
    •本裝置是參照電力部 DL/T662 《六氟化硫充氣及回收裝置》標準生產制造的，由SF6壓縮機、真空泵、真空系統有防回油裝置, 冷凝系統、貯液罐、凈化系統內置可再生干燥過濾器、塵埃過濾器、球型閥門、真空計以及電氣控制系統，壓力探測，溫度計及報警裝置的控制和檢測儀表等輔助設施等組成。適用于SF6電器，GIS組合電器SF6氣體絕緣電器設備的制造、現場安裝、檢修維護的使用運行。
    •MEQHS-100型SF6回收裝置具有回收、充放、凈化、抽真空、貯存、灌瓶等綜合性功能，系統比較*，參見附錄一系統圖。各功能的串聯或切換主要通過操作集中于面板一側的電控箱和球閥來完成。
    •回收裝置的基本工作原理是采用冷凍液化法。在回收時，利用壓縮機的抽吸性和壓縮性把SF6電器設備內一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機，并壓縮至某一較高的壓力。同時利用R22制冷劑的低蒸發溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進行液化、貯存。這樣連續抽吸至SF6壓縮機串聯運行，直至達到回收終壓力。
    •在充放時，首先利用本裝置的真空泵對SF6電器設備（或鋼瓶）和連接管路進行抽真空，然后直接利用壓差或利用壓縮機的抽吸性并造成一定的壓差將裝置貯存容器內的SF6充入SF6電器設備，直至達到所需的工作壓力。在需灌瓶時則同時利用如前所述的R22制冷劑的特性，將液化的SF6直接灌入鋼瓶。
    •凈化功能是在完成上述回收、充放功能時同步完成的。
    •系統中設置了三只油分離器，分別安裝在真空泵出口一只及壓縮機的出口二只，以有效去除SF6氣體所帶的油份。
    •系統回路中設置了干燥過濾器，以保證進入貯存容器的SF6的純度并有效去除水份。過濾器帶有加熱再生裝置，可在抽真空下加熱再生，分子篩從而能反復使用。
    •系統中設有可靠的安全保護裝置，高壓壓力控制器安裝在SF6壓縮機排氣口，一旦排氣壓力超過限定值它會自動停止壓縮機的工作，待壓力下降后再重新啟動壓縮機；安全閥安裝在貯存容器上一旦超壓安全閥自動打開排放氣體，壓力下降后自動關閉。